切片+显微观察（光学显微镜OM、扫描电镜SEM、透射电镜TEM）

材料力学/电学/热学/化学性能分析

表面微区分析

异物/污染分析

成分分析

材料老化及可靠性分析

【表面材料分析手段】：

• AES 俄歇电子能谱仪应用
• AFM 原子力显微镜应用
• EELS 电子能量损失分析仪应用
• FT-IR 傅立叶红外显微镜应用        
• SEM/EDS 扫描电子显微镜/X射线能谱仪应用
• SIMS 二次离子能谱仪（特殊定点/非定点制样、元素分析）
• TEM 透射电镜（定点/非定点制样及上机观察）
• TOF-SIMS 飞行时间二次离子质谱应用
• XPS X射线光电子能谱仪应用