近日,“紫外激光器产业化关键技术及应用”课题取得重要进展并通过技术验收。
该课题由清华大学等单位共同承担,属于“十二五”863计划新材料领域。该课题主要解决了一系列技术难题,研发出10-30W不同功率级别的全固态紫外激光器和新型的BBSAG四倍频器件,形成了一套拥有自主知识产权的全固态紫外激光核心技术。
在课题研制过程中,课题组对厘米级BBSAG晶体生长、非线性晶体超光滑表面加工、工业级应用的全固态激光器整机装配等工艺难点进行了攻关,成功突破了高光束质量紫外频率变换、非线性光学晶体的寿命及抗损伤、光束指向稳定性等多项关键技术,研发出的紫外激光器达到先进水平并实现了在微加工成套设备上的试用。目前研制的紫外激光器最大输出功率达30W。
该课题的研发成果将打破国外在领域市场的垄断,进一步提升了我国在该领域的实力,极大的推动着激光微加工制造产业发展。目前基于BBSAG晶体生长技术的BBSAG晶体已经生产并出口。