激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的(位置和几何)精度校正,并可完成按
标准测量各项参数,如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外,它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能,如自动螺距误差补偿(适用大多数控系统),机床动态特性测量与评估,回转坐标分度精度标定,触发脉冲输入、输出功能等。
中图仪器SJ6000激光干涉仪采用
美国进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出;采用高精度
环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量;结合相应镜组还能实现角度、直线度(平行度)、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量,并进行动态分析。
中图仪器SJ6000激光干涉仪性能特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的
检测
②结合我们的
软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外
仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
中图仪器SJ6000激光干涉仪技术参数:
系统性能
测量方式:单频
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
预热时间:约6分钟
工作温度范围:(0~40)℃
环境温度范围:(0~40)℃,环境湿度:(0~95)%RH
存储温度范围:(-20~70)℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
空气湿度传感器:±6%RH (0~95) %RH
大气压力传感器:±0.1kPa
线性测量
测量距离:(0~40)m
测量精度:0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力:1nm
测量最大速度:4m/s
角度测量
轴向量程:(0~15)m
测量范围:±10°
测量精度:±(0.04%R)″ (R为显示值,单位:″)
测量分辨力:0.1″
平面度测量
轴向量程:(0~15)m
测量范围:±1.5 mm
测量精度:±(0.6%R+0.02 M2) μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
基板尺寸:180mm可调,360mm可调
测量分辨力:0.1μm
直线度测量
轴向量程:(0.1~4.0)m
测量范围:±3mm
测量精度:±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
测量分辨力:0.01μm
垂直度测量
轴向量程:(0.1~3.0)m
测量范围:±3mm
测量精度:±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
测量分辨力:0.01μm/m
回转轴精度测量
角度测量范围:(0~360)°
测量精度:±1″
最高转速:10rpm
锂
电池供电,蓝牙传输数据。
中图仪器SJ6000激光干涉仪使用注意事项:
• (1)避免现场与仪器箱内温差较大时,直接开箱使用;
• (2)运输、使用中避免剧烈碰撞;
• (3)仪器线缆要防止碾、压,线缆接口防止变形;
• (4)多尘的环境中,要注意光学镜组放尘,测量间隙较长时,注意将激光光闸关闭,防止灰尘进入激光器;
• (5)清洗光学镜组要使用高质量的擦拭纸、清洗液。