激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途最为广泛。 


激光干涉仪功能：

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。
激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。
激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。


 
激光干涉仪执行标准：
序号 标准号 标准名称
1 ISO230-2 老版国际标准
2 ISO230-1997 新版国际标准
3 ANSI B5.54 美国国家标准
4 ASME B89.1.12M 美国机械工程师协会标准
5 NMTBA 美国机床协会标准
6 BS 3800 英国机床标准
7 BS 4656 英国三测机标准
8 JIS B6330 日本国家标准
9 GB 17421-2000 中国国家标准
10 VDI 3441 德国机床标准
 
SJ6000激光干涉仪技术指标：

       系统性能
    测量方式：单频
    稳频精度：0.05ppm
    动态采集频率：50 kHz
    预热时间：约6分钟
    工作温度范围：(0~40)℃
    环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH
    存储温度范围：(-20~70)℃
       环境补偿示值误差
    空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
    材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
    空气湿度传感器：±6%RH  (0~95) %RH
    大气压力传感器：±0.1kPa
       线性测量
    测量距离：(0~40)m
    测量精度：0.5ppm (0~40)℃
    测量分辨力：1nm
    测量最大速度：4m/s
       角度测量
    轴向量程：(0~15)m
    测量范围：±10°
    测量精度：±(0.04%R)″ (R为显示值，单位：″)
    测量分辨力：0.1″


       平面度测量
    轴向量程：(0~15)m
    测量范围：±1.5 mm
    测量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
    基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
       直线度测量
    轴向量程：(0.1~4.0)m
    测量范围：±3mm
    测量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm  (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
    测量分辨力：0.01μm
       垂直度测量
    轴向量程：(0.1~3.0)m
测量范围：±3mm
    测量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
    测量分辨力：0.01μm/m
       回转轴精度测量
    角度测量范围：(0~360)°
    测量精度：±1″
最高转速：10rpm
锂电池供电，蓝牙传输数据。