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天津检验检疫局纳米测量标准器填补纳米行业国内空白

放大字体  缩小字体 世科网   发布日期:2012-07-05  浏览次数:810
核心提示:近日,天津检验检疫局研制的纳米尺度测量标准器获得国家实用新型专利授权。该项目采用国际先进的聚焦离子束刻蚀技术,具有分辨率
近日,天津检验检疫局研制的“纳米尺度测量标准器”获得国家实用新型专利授权。该项目采用国际先进的聚焦离子束刻蚀技术,具有分辨率高、线距均匀、材料稳定、设计独特等特点,可以满足不同形状样品的比对测量需求,有效解决了纳米尺度更准确的测量问题,填补了纳米材料领域标准器国内空白,达到国际先进水平。

    随着纳米科技飞速发展,用于测量纳米尺度的高分辨率测量器具一直是人们所关注的课题,为了得到更准确的测量结果,需要有一个更接近于样品尺度的标准物质——纳米标准器。

    天津局课题组经过两年的刻苦钻研,通过精选纳米标准器材质,采用先进的聚焦离子束刻蚀技术,研制成功一种新型的用于扫描电镜纳米尺度测量的纳米标准器。该纳米标准器分辨率高,具有78纳米的标准周期线距,远小于目前公认的S1000标准器的线距1000纳米(1微米),是真正意义上的纳米级标准器,并且保证每个刻度周期线距的均匀性和一致性,可使得最小线距整数倍的距离都可以作为标准长度来比对,材料膨胀系数低、性能稳定,设计将横线、竖线、点阵和圆环形状的标准刻度融于一体,可以满足不同形状样品的比对测量需求。

 

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    (傅志强)  《中国国门时报》

 

 
文章出自: 世科网
本文网址: http://www.cgets.net/news/show-347.html

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关键词: 纳米 测量 标准器
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