厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心

　1999年底，由厦门大学、萨本栋教育科研基金会和厦门市政府共同创议设立厦门大学萨本栋微机电研究中心，并且成立了筹委会。经过两年时间的筹建，大楼于2002年2月建成，中心正式于2002年9月开始运行，2003年经验收成为厦门市（福建省）MEMS工业工程中心，2006年获批为福建省高校重点实验室。
　　中心的目标是建设世界一流的微纳米研究中心，使中心成为一个多学科交叉的开放性的公共研究平台，微纳米器件与系统创新科技人才的培养平台，以及科研成果转化和产业化的基地。
　　中心的研究方向，主要从事微纳米加工技术、微纳米材料以及微纳米器件与系统的研究与应用，并为国内外产业及研究机构服务。
　　经过前期的建设，中心3800平方米的中心大楼 “亦玄馆”内拥有100级、1000级、10000级共计660平方米的工艺洁净室、各种高纯气体供气系统、18MΩ纯水系统、三废处理系统、防震工作台等。中心现有80多台各种微机电工艺设备，如AMS 200深硅等离子体刻蚀系统、ICP-2B刻蚀机、AWB04键合机、MA6/BA6 Karlsuss双面光刻机和键合机、POLI-400化学机械抛光机、WL2040铝丝压焊机、OPTI CAOT 22i喷涂胶机系统、ZSH406全自动划片机、DQ-500等离子去胶机、全自动清洗甩干机、AXTRON ... [详细介绍]