切片+显微观察(光学显微镜OM、扫描电镜SEM、透射电镜TEM)
材料力学/电学/热学/化学性能分析
表面微区分析
异物/污染分析
成分分析
材料老化及可靠性分析
【表面材料分析手段】:
- AES 俄歇电子能谱仪应用
- AFM 原子力显微镜应用
- EELS 电子能量损失分析仪应用
- FT-IR 傅立叶红外显微镜应用
- SEM/EDS 扫描电子显微镜/X射线能谱仪应用
- SIMS 二次离子能谱仪(特殊定点/非定点制样、元素分析)
- TEM 透射电镜(定点/非定点制样及上机观察)
- TOF-SIMS 飞行时间二次离子质谱应用
- XPS X射线光电子能谱仪应用